實(shí)驗(yàn)室集中供氣的優(yōu)點(diǎn)

1、保持氣體純度

2、不間斷氣體供應(yīng)：系統(tǒng)可以以手動(dòng)方式和自動(dòng)方式在氣瓶之間進(jìn)行切換，保證氣體連續(xù)供應(yīng)

3、低壓警示：當(dāng)氣壓低于警報(bào)限時(shí)，報(bào)警裝置可自動(dòng)啟動(dòng)報(bào)警

4、氣體壓力穩(wěn)定：系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣，可得到非常穩(wěn)定的壓力

5、率：通過供氣控制系統(tǒng)，可充分使用氣瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本

6、操作簡便：所有氣瓶存放在同一位置，減少搬運(yùn)安裝的操作，節(jié)約時(shí)間和成本費(fèi)用

7、無氣瓶在實(shí)驗(yàn)室：可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實(shí)驗(yàn)室操作空間

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實(shí)驗(yàn)室氣體的危險(xiǎn)性

1.有部分氣體具有毒、強(qiáng)腐蝕等特性，其一旦泄漏，就可能會(huì)對工作人員及儀器設(shè)備造成傷害；

2.多種氣體在同一個(gè)環(huán)境下使用，如果有兩種會(huì)發(fā)生燃燒或爆1炸等強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時(shí)泄漏，就可能對工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害；

3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達(dá)15MPa，即150公斤/cm2，如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈，就有可能將一些部件激1射出去，其能量對人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。

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高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高，對氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格，需要達(dá)到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)要求了解實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的都知道：實(shí)驗(yàn)室的任何的設(shè)計(jì)都是有規(guī)格要求的，出了這個(gè)要求的范圍那么實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)就有漏洞，就不合格，就容易發(fā)生事故。